Die Mikrowellenmessung ist ein zerstörungsfreies Verfahren zur Feuchtemessung Für die Feuchtemessung in Baumaterialien und in Räumen steht eine Reihe von Messverfahren zur Verfügung. Die Messgenauigkeit der verschiedenen Verfahren , das zu den dielektrischen Verfahren zählt. Grundlage des Messverfahrens ist die Eigenschaft von Mikrowellen, Wassermoleküle zu Schwingungen und zur Aufnahme von Energie anzuregen. Hierbei nutzt das Verfahren die dielektrischen Eigenschaften des Wassers als polares Molekül. Bei einem von außen angelegten elektromagnetischen Wechselfeld richtet sich das Wassermolekül in eine Richtung aus (Polarisation). Die Moleküle rotieren mit der Frequenz des Feldes. Dieser Effekt wird durch die Dielektrizitätskonstante gekennzeichnet.

Die Dielektrizitätszahl von (freiem und physikalisch gebundenem) Wasser ist 80 bei 20 °C und 3 von chemisch gebundenem Wasser. Diese ist temperaturabhängig und ist 70 bei 50 °C. Die Dielektrizitätskonstante der meisten trockenen Baustoffe liegt zwischen 2 und 10. Je feuchter ein Baustoff ist, umso höher ist die Dielektrizitätskonstante. Aufgrund der großen Unterschiede zwischen diesen beiden Kennwerten (Wasser 80 und Baustoffe 10) lassen sich bereits sehr geringe Durchfeuchtungen bestimmen.
Die Dielektrizitätszahl ist außerdem frequenzabhängig. Der Frequenzbereich von Mikrowellen erstreckt sich über ein Spektrum von 0,3 bis 300 GHz. Im Rahmen der Feuchtemessung wird in der Regel mit einem Frequenzbereich von 100 MHz bis 3 GHz gearbeitet. Innerhalb dieser Frequenzen ist es zudem möglich, den Einfluss von Salzen zu trennen Dies bedeutet, dass eine salzunabhängige Feuchtigkeitsmessung durchgeführt werden kann.
Für die Feuchtigkeitsmessung im oberflächennahen Bereich (3 bis 4cm) werden Oberflächensonden (Streufeldantennen) eingesetzt, zur Tiefenmessung (20 bis 30cm) dagegen Volumensonden (Richtantennen). Einige Messgeräte besitzen eine Bohrlochsonde, mit der Feuchtigkeitsmessungen über Bohrlöcher auch in tieferen Bauteilschichten (Wandquerschnitt) durchgeführt werden können. Die Feuchtemessung erfolgt in einem Messraster, so dass die empfangenen Wellen über integrierte Eichkurven ausgewertet und grafisch dargestellt werden können. Somit kann die Verteilung der Feuchtigkeit innerhalb der Baukonstruktion visualisiert werden.

